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折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用

作者：张新宇，谢长生 出版社：国防工业
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  • 包装：平装
  • 出版社：国防工业
  • ISBN：9787118122848
  • 作者：张新宇，谢长生
  • 页数：211
  • 印刷日期：2021-10-18
  • 开本：16开
  • 版次：1
  • 印次：1
  • 字数：265千字
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